Si、Ge、SOI、GOI、SiC和化合物半导体等衬底材料；用于集成电路和光电器件制造的高-k/金属栅叠层、Low-k材料、GeSi外延层、GeSn外延层、PCRAM存储材料、RRAM介质材料、STT-MRAM用磁性薄膜等新型薄膜材料；光刻胶、DSA、各类CVD和ALD前驱体、CMP抛光材料、工艺化学品、靶材等集成电路制造工艺材料；新型显示材料；先进封装材料；新型二维材料；碳纳米管，石墨烯等碳基功能材料；材料检测技术与方法；材料设计理论与计算模拟。

Substrate materials such as Si, Ge, SOI, GOI, SiC and compound semiconductors;
High-k, Low-k, GeSi, GeSn, PCRAM, RRAM, STT-MRAM, and other materials used in integrated circuits and optoelectronic devices; 
Photoresists, DSA, CVD and ALD precursors, CMP materials, process chemicals and targets for integrated circuit fabrication materials;
New display materials;
Advanced packaging materials; 
Novel two dimensional materials; 
Carbon nanotubes, graphene and other carbon based functional materials;
Materials characterization technology and methods;
Materials design theory and simulation.

王曦           广东省人民政府
汪正平        香港中文大学  
杨德仁        浙江大学      
赵超           中国科学院微电子研究所
林庆煌        ASML

宋三年        中国科学院上海微系统与信息技术研究所        13818144065        songsannian@mail.sim.ac.cn

❀ 俞滨--浙江大学--二维材料在后摩尔电子学的应用
❀ 刘冉--复旦大学--基于选区生长的有机功能材料微纳图案及器件阵列制备技术
❀ 于大全--厦门大学--先进封装中的新材料挑战
❀ 宋志棠--中国科学院上海微系统与信息技术研究所--相变材料可逆相变机理与新材料研究
❀ 于洪宇--南方科技大学--宽禁带半导体器件的最新研究进展
❀ 欧欣--中国科学院上海微系统与信息技术研究所--面向5G高性能射频滤波器的异质集成技术
❀ 李澄--厦门大学--光电器件中离子迁移的实时原位表征
❀ 郭宇铮--武汉大学--碳化硅的栅氧界面
❀ 冀然--青岛天仁微纳科技有限责任公司董事长--微纳光学器件生产中纳米压印产业化应用
❀ 蔡艳--中国科学院上海微系统与信息技术研究所--硅基光电子中的先进封装工艺和材料
❀ 杨轶--清华大学--基于铪系材料的非易失铁电存储器
❀ 张峰--厦门大学--宽禁带半导体SiC功率器件研究进展及应用
❀ 王风云--青岛大学--金属氧化物半导体纳米纤维场效应晶体管的制备及电学性能调控

❀ 胡平安--哈尔滨工业大学--二维压电/铁电材料及其柔性器件

集成电路材料产业技术创新联盟

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

由大会统一出版